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中微第一代刻蚀机用于加工直径300毫米、65-45纳米的晶圆片,目前已进入第三代10纳米、7纳米工艺,并将在晶圆厂验证生产,未来还将进入5纳米、甚至3.5纳米工艺。中微所有产品都有专利技术,台积电、联电、意法半导体、博世半导体等知名企业都在使用。

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